خطا (Fault): یک نقیصه، نابسامانی یا کاستی فیزیکی است که در سخت‌افزار یا نرم‌افزار پدید می‌آید؛ مانند اتصال کوتاه شدن یک مدار، قطعی یک ترانزیستور، یا حلقه بی‌انتها در یک برنامه.

ایراد (Error): یک انحراف از وضعیت صحت یا درستی است؛ مانند یک مقدار غلط در یک برنامه کامپیوتری که موجب تقسیم بر صفر یک کسر گردد. معمولاً ایرادها با مقادیر غلط در یک سیستم مرتبط هستند.

خرابی (Failure): عدم اجرای برخی یا همه کارها و وظایفی که مقرر بوده و یا مورد انتظار است؛ مانند سوختن یک لامپ به علت ولتاژ غیرمجاز ناشی از ایراد سیستم تنظیم ولتاژ.

پايش (Monitoring): به صورت كلي شامل مشاهده پيوسته و بلادرنگ وضيعت‌هاي يک سيستم و انتشار پيغام‌هايي مبتني بر چگونگي عملكرد آن مي‌باشد. در اصل يك سامانه پايشگر، با مشاهده و جمع آوری اطلاعات از حسگرها يا شبکه‌های حسگر اقدام به پردازش و ثبت اطلاعات از گذرهاي حالت يك سيستم مي‌‌نمايد.

تشخيص خطا (Fault Detection): فرآيندي جهت تشخيص خطاهاي اتفاق افتاده در عملكرد سيستم بر اساس مقايسه با وضعيت كنوني سيستم (وضعيت مشاهده شده) و وضعيت عادي از پيش تخمين زده شده مي‌باشد. 

عيب‌يابي (Diagnosis): فرآيندي جهت مجزاسازي خطاهايي با اولويت بالا، تعيين نوع و ماهيت خطا، مكان يابي و زمان تشخيص خطا مي‌باشد. که فرآيند مذکور از دو زير فرآيند شناسايي خطا و جداسازي خطا تشكيل شده است .

1. شناسايي خطا، اين فرآيند تشخيص اندازه و زمان رفتارهای مختلف خطا را بر عهده دارد.

2. جداسازي خطا، اين فرآيند تشخيص نوع خطا، مکان خطا و زمان تشخيص خطا را بر عهده دارد.

سیستم بلادرنگ (Real-Time System): سیستمی که محاسبات یا اقداماتش در یک زمان حقیقی برای یک وقوع یک فرایند بیرونی انجام شود به گونه‌ای که قبل از فرارسیدن موعد ، محاسبات یا اقدامات به پایان رسیده باشد.

تحمل‌پذیری خطا (Fault Tolerance): قابلیت یک سیستم برای ادامه عمل و کارآیی‌اش علیرغم وجود خطا؛ مانند حشره  در نرم‌افزار یا قطع اتصال در سخت‌افزار. 

--------------------------------------
مراجع:
Dubrova, Elena. Faults, Errors and Failures. Elena Dubrova. [Online] 1999. http://web.it.kth.se/~dubrova/FTCcourse/LECTURES/lecture2.pdf.

EEE StandardS Board. IEEE Standard Glossary of Software Engineering Terminology. s.l. : The Institute of Electrical and Electronics Ehgineers, 1990. ISBN 1-55937-067.